?2023年1月30日，由業界知名媒體光電匯舉辦的2022中國十大光學產業技術評選最終獎項揭曉，炬光科技DLight?S系列半導體集成電路晶圓退火系統榮膺光學類技術獎項。

2023年2月24日，炬光科技受邀出席光電匯“中國十大光學產業技術頒獎典禮及報告會”。在本次報告會中，炬光科技泛半導體制程事業部副總經理顧維一將發表題為《DLight?S系列半導體集成電路晶圓退火系統項目概述》的報告(gao)。歡迎掃描(miao)文章底(di)部海報二維碼(ma)，免費注(zhu)冊觀看！

報告摘要

此次報告將分享半導體集成電路晶圓激光退火的(de)研(yan)究(jiu)背(bei)景(jing)、應用背(bei)景(jing)以及國內外技(ji)術(shu)(shu)發展水平。隨(sui)著半導體制(zhi)造技(ji)術(shu)(shu)的(de)不(bu)斷發展和超大規模集(ji)成(cheng)(cheng)電(dian)路(lu)設(she)計制(zhi)造能力的(de)不(bu)斷提(ti)升，激光退(tui)(tui)(tui)火技(ji)術(shu)(shu)逐漸取(qu)代傳統(tong)爐管退(tui)(tui)(tui)火技(ji)術(shu)(shu)，成(cheng)(cheng)為28nm及以下邏輯芯片制(zhi)造前道工序(xu)中不(bu)可缺(que)少的(de)關鍵工藝之(zhi)一。激光退(tui)(tui)(tui)火相對于傳統(tong)退(tui)(tui)(tui)火，具有選(xuan)區(qu)加熱(re)、閉環精準(zhun)控溫、高(gao)能量密度、連(lian)續能量輸(shu)出穩定(ding)等特(te)點，能夠(gou)滿足多種(zhong)退(tui)(tui)(tui)火工藝需求。

獲獎產品

炬光科技DLight?S系列半導體集成電路晶圓退火系統結合了產生光子的共晶鍵合技術、激光光源熱管理技術、熱應力控制技術以及調控光子的激光光束轉換技術和光場勻化技術，可生成一條線寬70μm，長寬比達160:1的近紅外波段極窄線光斑，提供高達1800W/mm²的連(lian)續能(neng)量輸出(chu)，在(zai)不到(dao)(dao)1毫秒的時間內將晶(jing)圓(yuan)(yuan)表層原子(zi)層加(jia)(jia)熱(re)到(dao)(dao)1000°C以上再急(ji)速冷卻，從(cong)而有效減(jian)少前道工(gong)(gong)序中產生(sheng)的晶(jing)圓(yuan)(yuan)電極缺陷，提(ti)高產品性能(neng)，提(ti)升晶(jing)圓(yuan)(yuan)生(sheng)產良品率。在(zai)光斑長度方向(xiang)上，該專項技(ji)術(shu)可(ke)達到(dao)(dao)＞95%的光斑均勻性和(he)＞98%的連(lian)續輸出(chu)能(neng)量穩定性，同(tong)時還具備工(gong)(gong)藝點溫度監測，輸出(chu)光束質量在(zai)線檢(jian)測等附加(jia)(jia)功(gong)能(neng)。其(qi)產品核心技(ji)術(shu)以及(ji)獨創性已獲得業界(jie)的廣泛認(ren)可(ke)。

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報告人信息

報告人：顧維(wei)一，炬光(guang)(guang)科技泛半導體(ti)(ti)(ti)制程事業(ye)(ye)部副總經(jing)理。畢業(ye)(ye)于西(xi)安(an)工(gong)業(ye)(ye)大學(xue)電信學(xue)院(yuan)，工(gong)學(xue)碩士學(xue)位，在激(ji)光(guang)(guang)應(ying)用領域有超過(guo)十年的(de)從業(ye)(ye)經(jing)驗(yan)，專注于高功率半導體(ti)(ti)(ti)激(ji)光(guang)(guang)系統(tong)在先進制造和泛半導體(ti)(ti)(ti)領域的(de)產品和應(ying)用開發，先后主導了炬光(guang)(guang)科技DLight H、DLight S及(ji)Flux H系列高功率半導體(ti)(ti)(ti)激(ji)光(guang)(guang)系統(tong)的(de)產品開發。

會議介紹

本次報告將于2月24日（周五）14:10-14:30在線直播，歡(huan)迎(ying)掃(sao)描二(er)維碼免費注冊報名，我們(men)期待與您在直播間交流(liu)探討(tao)！